氧化矽拋光液
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氧化矽拋光液

Silicon Oxide Polishing Compound

 

FSP系列拋光液是由高純度的膠態氧化矽微粒(colloidal silica)所組成,依照不同的粒徑可區分為三個等級,適用於矽晶圓、石英晶體、藍寶石、鋰酸鈮、鉭酸鈮、合金金屬…元件的拋光使用。
 

製品名

FSP-050

FSP-080

FSP-100

     Content of SiO2(%)

40

40

40

     pH

10.2

10.2

10.2

     Specific Gravity

1.3

1.3

1.3

     Particle Size(nm)

45

75

100

     Package

25KG

25KG

25KG