氧化矽拋光液
Silicon Oxide Polishing Compound
FSP系列拋光液是由高純度的膠態氧化矽微粒(colloidal silica)所組成，依照不同的粒徑可區分為三個等級，適用於矽晶圓、石英晶體、藍寶石、鋰酸鈮、鉭酸鈮、合金金屬…元件的拋光使用。
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製品名 |
FSP-050 |
FSP-080 |
FSP-100 |
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Content of SiO2(%) |
40 |
40 |
40 |
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pH |
10.2 |
10.2 |
10.2 |
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Specific Gravity |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
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Particle Size(nm) |
45 |
75 |
100 |
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Package |
25KG |
25KG |
25KG |
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